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水浸超声波C扫描检测系统的增益和水距对ITO靶材缺陷检测的准确性研究

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  • 【题名】:水浸超声波C扫描检测系统的增益和水距对ITO靶材缺陷检测的准确性研究
  • 【年份】:2021
  • 【作者】:王英洁,文崇斌,胡智向,朱刘
  • 【关键词】:水浸超声波C扫描检测系统  增益  水距  靶材绑定率  绑定缺陷
  • 【摘要】:试验研究了水浸超声波C扫描检测系统增益和水距对绑定后的ITO靶材绑定缺陷扫描结果准确性的影响。试验表明为测得准确的ITO靶材绑定率,需要计算理论水距,将C-SCAN设备的探头焦点放置在缺陷位置并设定正确的增益值,从而达到准确判断缺陷位置。
  • 【期刊名】:广东化工
  • 【分类号】:TB559;TN04
  • 【期号】:第5期
  • 【作者单位】:广东省薄膜材料工程技术研究中心清远市薄膜材料工程技术研究中心先导薄膜材料(广东)有限公司;国家稀散金属工程技术研究中心广东先导稀材股份有限公司
  • 【页码】:220-221
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