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一种低噪声MEMS电容式加速度传感器的设计

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  • 【题名】:一种低噪声MEMS电容式加速度传感器的设计
  • 【年份】:2019
  • 【作者】:周岩,李彦哲,李金平,孙风光
  • 【关键词】:低噪声  差分电容  MEMS  加速度传感器
  • 【摘要】:基于差分电容原理和MEMS技术,设计了一种低噪声MEMS电容式加速度传感器。该加速度传感器包括一个敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路。通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路相结合,制作出加速度传感器。利用MEMS技术制作的微结构封装的加速度传感器经过测试,验证了该传感器具有高灵敏度,高分辨率和低噪声特点。
  • 【期刊名】:科技创新导报
  • 【分类号】:TP212
  • 【期号】:第12期
  • 【作者简介】:①作者简介:周岩(1980—),女,汉族,吉林省吉林市人,本科,工程师,研究方向:传感器技术。
  • 【作者单位】:中国电子科技集团公司第49研究所
  • 【页码】:105,107
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