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国产衬底片在双极型集成电路制造中的应用

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  • 【题名】:国产衬底片在双极型集成电路制造中的应用
  • 【年份】:2018
  • 【作者】:戴学春,周卫平,任萍萍
  • 【关键词】:集成电路制造  硅衬底  双极型集成电路  衬底物理参数  衬底翘曲  失焦  电参数  工程能力指数
  • 【期刊名】:集成电路应用
  • 【分类号】:TN405
  • 【期号】:第3期
  • 【作者单位】:上海先进半导体制造有限公司
  • 【页码】:45-48
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